電気電子工学科研究者総覧

氏名 北嶋 武 (Kitajima Takeshi)
職名 准教授
E-Mail kitajima
学位 博士(工学)1999年3月
発光CTによるVHF駆動リアクティブイオンエッチャーの
2次元構造診断
教育科目等 基礎電磁気学演習、電気エネルギー工学、気体エレクトロニクス、 電気物理工学特論I(研)
電子機能デバイス特論(研)
専門分野 プラズマエレクトロニクス、表面科学
キーワード プラズマ診断、表面ナノ構造、量子ドット形成
著書・論文等
  1. Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma (Appl. Phys. Lett., 77, 2000)
  2. Two-dimensional periodic alignment of self-assembled Ge islands on patterned Si (001) surfaces (Appl. Phys. Lett., 80, 2002)
  3. Increased O(1D) Metastable Density in Highly Ar Diluted Oxygen Plasmas (Appl. Phys. Lett., 88, 2006)
  4. Oxygen Atom Density in Rare Gas Diluted O2 Radio Frequency Plasma (Thin Solid Films, 506-507, 2006)
主要所属学会 応用物理学会、電気学会、日本表面科学会
学術関係受賞 1999年11月 応用物理学会講演奨励賞
2007年 3月 奨励賞(防衛大学校学術教育振興会)


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Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy