電気電子工学科研究者総覧

氏名 中野 俊樹 (Nakano Toshiki)
職名 教授
E-Mail tn
学位 工学博士 1989年3月
プラズマ重合有機薄膜の電気的性質に関する研究
教育科目等 基礎電磁気学、物理学III、電気物理工学特論II(研)
専門分野 気体放電工学、プラズマ工学、高電圧工学
キーワード プラズマ診断、レーザ分光計測、プラズマプロセシング
著書・論文等
  1. Estimation of Dissociation Degree of N2 in an Inductively Coupled Plasma by Vacuum Ultraviolet Emission Spectroscopy (J. Appl. Phys., 92, 2002)
  2. Monitoring of CF and CF Number Density by Optical Emission Intensity Corrected Using Probe-Measured Plasma Parameters (Jpn. J. Appl. Phys.,42,2003)
  3. Optical Diagnostics of a Pulsed Inductively Coupled Nitrogen Plasma (IEEJ Trans. FM,125,2005)
主要所属学会 電気学会、応用物理学会、静電気学会、放電学会
American Vacuum Society
学術関係受賞 1993年3月 論文発表賞(電気学会)
1994年3月 奨励賞(防衛大学校学術教育振興会)
2004年3月 プラズマエレクトロニクス賞(応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会)


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Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy