研究室概要
例えばCPUの基板加工などは、自動化され、人間の五感では認知不可能なレベルでの加工精度や加工速度が求められています。当研究室では、大口径半導体基板の超精密平坦化加工に関する研究（揺動速度制御）による修正研磨、研磨シミュレーションの開発、高精度研削、高能率研磨）を基本として中心に、矩形ガラス材の高平坦化研磨・ラッピングへの応用、大型基板を平面矯正する高精度ピンチャックの開発、ブラスト加工を利用した微細加工などの研究に取り組んでいます。
教官
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| 吉冨健一郎 教授 |
| 氏名 | 吉冨 健一郎 |
| 職名 | 教授 |
| 連絡先 | 内線3404  |
| 研究分野 | 研磨加工、微細加工、計測 |
| キーワード | 精密加工、研磨加工、画像計測、ブラスト加工 |
