制御加工研究室

制御加工研究室概要

制御加工研究室概要例えばCPUの基板加工などは、自動化され、人間の五感では認知不可能なレベルでの加工精度や加工速度が求められています。
当研究室では、大口径半導体基板の超精密平坦化加工に関する研究（揺動速度制御）による修正研磨、研磨シミュレーションの開発、高精度研削、高能率研磨）を基本として中心に、矩形ガラス材の高平坦化研磨・ラッピングへの応用、大型基板を平面矯正する高精度ピンチャックの開発、ブラスト加工を利用した微細加工などの研究に取り組んでいます。

制御加工の面白さ

制御加工の面白さ甲子園球場を0.1mmの誤差範囲内で整地する。それが現在の工業製品製作現場で求められている精度です。
この精度を実現し、より高い精度やより広い応用を可能とすることが制御加工の面白さといえます。人間では感知不可能な、その誤差を、予め形状パターンを算出するシミュレーションにより予測し、実際の技術として応用しています。
微少な誤差も許されないシミュレーションを研究していきます。