制御加工研究室

【准教授】吉冨 健一郎

吉冨 健一郎

氏名:
吉冨 健一郎
所属名:
制御加工 
職名:
准教授 
E-mail:
 
吉冨 健一郎
ホームページ:
 
担当授業科目:
機械工学実験、機械設計製図II、基礎情報処理 
研究分野:
研磨加工、微細加工、計測 
現在の研究課題:

大口径ウエハの高能率・高平坦化研磨に関する研究
矩形基板の高平坦化ラッピングに関する研究
ディスペンサによるマスクを利用した微細加工技術に関する研究

今後の課題:

高平坦化研磨・ラッピングの高精度・高能率化

キーワード:
精密加工、研磨加工、画像計測、ブラスト加工 
初学者向け研究紹介:

パソコン・携帯電話の高性能化・小型化や、液晶テレビの高品位化・大型化は、高精度な加工技術があってこそ実現されている。その基盤となる加工技術が砥粒加工であり、この分野の発展に貢献すべく研究を進めている。

著書・論文等:

1.ラインレーザを用いた仮想格子モアレ法による三次元形状測定(精密工学会誌,66,2000)
2.Highly Efficient CMP Planarization Using a Ring Polisher with Oscillation Speed Control(Proceeding of the 4th International Symposium on Advances inAbrasive Technology,2001)
3.Ultra Precison Polishing with the Oscillation Speed Control: An Analysis fo the Pressure Diestribution and the Profile(ADVANCES IN ABRASIVE TECHNOLOGY V,2002)
4.小形工具による大口径ウエハの形状修正研磨(第1報)(砥粒加工学会誌,47,2003)

学位:
博士(工学) 
所属学会:
精密工学会、砥粒加工学会 
学術関係受賞: