電子情報工学研究テーマ（その６）
位相エンコード法によるレーザ干渉計の高分解能化
Ｈｅ−Ｎｅレーザを用いた干渉計による距離分解能は基本的には波長の１／２即ち0.6328/2=0.3164μm であり、波長の１／８までの分解能を得るための内挿法が提案されていた。それに対して当研究室ではアナログ、およびディジタル電子回路を駆使して波長の１／２５６即ち約２．５nm の分解能が得られ、かつ雑音にも強い内挿法を開発し、レーザ干渉計などのリニアエンコーダだけでなくロータリエンコーダにもそのまま適用できることを示した。
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文献
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